一、产品概述
该型号系列检漏仪集快速、可靠、灵敏及易于操作为一身。适用于广大用户的不同种类的检漏要求。 PhoeniXL300是最新一型的便携式氦质谱检漏仪,它适用于各式各样的检漏模式及环境,是广大用户可以选择和信赖的理想产品。 PhoeniXL300从静止开始启动,2分钟之内就可以开始工作。内部标准漏孔可以在任时候对仪器进行校正,使检漏更加可靠有效。最小可检到5×10-12mbar.I/S的漏率,让仪器的灵敏度又达到了一个新的高度。 PhoeniXL300允许用户在15mbar的高压强下开始检漏,为用户检大漏提供了方便。 PhoeniXL300Dry是最新型的干式检漏仪,它不会给用户带来任何的油污染,适用于超净间及其他无油真空。 用户还可以根据自己的要求,或选择大抽速前级泵,或选择检测盒,来满足检大容器,或满足电子元气件检漏需要。 Leybold设计独特的吸枪和快速吸枪,可以使用户在吸氦模式检漏中不放过任何一个可疑漏点。
广泛的应用 • 元部件气密性检测 • 科学研究 • 真空炉、镀摸设备等装置或系统生产和维护时气密性检测 • 分析仪器 • 高真空和超高真空的工程 • 半导体晶圆制造 • 发电厂及变压器检漏 • 电子显微镜 • 汽车空调、汽车发动机 • 真空冶炼 • 更高的灵敏度,更好的清除氦本底能力 PhoeniXL300
性能特点 • 卓越的人性化设计,带给您简单快捷的操作。 • 结构紧凑,体积小巧,重量轻,便于移动。 • 超高灵敏度(5×10-12mbar.I/S)让您检到更小的漏孔。 • 彩色LCD液晶使用寿命更长,显示更加清楚明晰。 • 机械部分与电路完全分开,避免了温度、电磁场等的彼此干扰,使仪器运行更加定可靠。 • 每台检漏仪配有两只长寿命灯丝(离子源3年质保期),让用户可以更加放心的长久使用。 • PhoeniXL300氦质谱检漏仪保留了诸多莱宝公司经久不衰的真空器件,沿袭了莱宝一贯的优秀品质。 • 新型的复合式带分流口的分子泵提高了对氦的抽气速度,缩短了清除氦本底时间,有效防止氦污染。 • 选配莱宝独特的吸枪,让用户在吸氦模式检漏中不放过任何一个可疑陋点。 • 在15mbar的高压强下就可以开始检漏,为用户检大漏供了可能。 • 质谱室采用180度扇形偏转磁场,其功能的稳定可靠已在众多类型的检漏仪中得到验证。 • PhoeniXL300Dry是最新型的干式检漏仪,它不会给用户带来任何的油污染,适用于超净间及其他无油真空。 • 按下一个按键即可快速清除任何现存的氦本底信号(自动抑零功能) • 带内置标准漏孔,可随时对仪器进行自动校准。 • 选配手持遥控单元,可有效的进行长距离遥控检测。 • 可检漏率跨11个量程。 • 可选择质量数为2、3、4的气体作为示踪气体 • 用户通过操作面扳上的按键可以自行选配使用sps插口。 • PhoeniXL300 Modul型检漏仪,其前级泵可选择大抽速机械泵,从而更经济有效得实现对大体积设备的检漏。
二、技术参数
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PhoeniXL300 |
PhoeniXL300Drv |
PhoeniXL300Modul |
最小可检氦漏率(真空模式) |
Mbar.I/S |
<5×10-12 |
<3×10-11 |
<5×10-12/<8×10-12 |
最小可检漏率(吸枪模式) |
Mbar.I/S |
<1×10-7 |
<1×10-7 |
<1×10-8 |
最大可检氦漏率(真空模式) |
Mbar.I/S |
>0.1 |
>0.1 |
>0.1 |
抽气口允许最大压强 |
Mbar |
15 |
15 |
15 |
分流方式下抽气口允许最大压强 |
Mbar |
1000 |
- |
- |
设计名义抽速 |
M*m*m |
2.5(50Hz) 3 (60Hz) |
1.6 (50Hz) 1.8 (60Hz) |
16/20(50/60Hz)D16B 25/30(50/60Hz)D25B 30/36(50/60Hz)Scroll |
对氦的抽速 |
I/S |
>2.5 |
>2.5 |
>2.5 |
带 D16B 泵时的分流抽速 |
I/S |
16 ( 50Hz ) |
|
|
带 D25B 泵时的分流抽速 |
I/S |
25 ( 50Hz ) |
|
|
氦信号的反应时间 |
S |
<1 |
<1 |
<1 |
检漏仪启动时间 |
Min |
<2 |
<2 |
<2 |
质谱仪 |
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180 度扇形偏转磁场 |
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可检质量数 |
Amu |
4:3:2 |
4:3:2 |
4:3:2 |
继电器输出 |
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4 |
4 |
4 |
SPS 输入 |
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6 |
6 |
6 |
测试口连接方式 |
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DN25KF |
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手持遥控连接线长度 |
m |
4( 最长 32) |
4( 最长 32) |
4( 最长 32) |
功耗 |
VA |
420 |
350 |
350 |
尺寸 |
mm |
495×456×314 |
495×456×*314 |
495×456×314 |
重量 |
kg |
40 |
37.5 |
29 | |